功能:通過化學(xué)腐蝕剝離石英管/石英舟全表面臟污,噴淋去除石英管/石英舟表面酸殘留,快速沉浸去除清洗后的石英管/石英舟水分殘留。
設(shè)備采用模式:自動浸泡、定時移槽、干進干出、上下料位由專用載具、裝載卸載由人工手動完成。